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三维探针台
简介：

三维探针台，由压电马达驱动，X-Y-Z三轴的行程均为12毫米，开环最小步长为0.3μm，探针可选配。专为科研实验室中微米尺度/量级的力学、光学、电学、磁学、生物化学等性能测试打造的微米精度探针台，并可增配闭环控制，实现亚微米精度的定位。

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说明：搭配使用控制器和驱动器，可同时控制多个“三维探针台”，满足客户更高要求。
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