极紫外 (EUV) 球面反射镜长富科技（北京）有限公司

咨询电话：010-64113395

所在位置: 首页 > 产品列表 > 光学元件 > 反射镜

极紫外 (EUV) 球面反射镜

简介：

极紫外 (EUV) 球面反射镜具有多层钼/硅镀膜，在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它们专为 5o 入射角设计，并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3Å RMS，可最大程度地降低散射。这对 EUV 波长必不可少，因为 EUV 波长的散射比长波长更多. TECHSPEC EUV 球面反射镜的通带非常窄，约为 0.5nm，确保只会在高谐波生成 (HHG) 应用中反射 13.5nm 的关注谐波。EUV 球面反射镜的典型应用包括相干衍射极紫外 (EUV) 球面反射镜具有多层钼/硅镀膜，在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它们专为 5o 入射角设计，并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3Å RMS，可最大程度地降低散射。这对 EUV 波长必不可少，因为 EUV 波长的散射比长波长更多. TECHSPEC 成像 (CDI)、EUV 成像和 EUV 纳米加工.

无相关文档

产品详情

产品特点

设计波长 DWL (nm

直径 (mm)

有效焦距

EFL (mm

产品编号

单价（元）

13.5

25.40 +0.00/-0.13

250

#11-730

31450

产品留言

标题

联系人

联系电话

内容

验证码

点击换一张

注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!